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大尺寸氣浮碳化硅陶瓷導(dǎo)軌是什么? 大尺寸氣浮碳化硅(SiC)陶瓷導(dǎo)軌是用高剛性、高硬度的硅化物陶瓷制成的線性導(dǎo)軌或平面基座,配合氣體靜壓/氣體動(dòng)壓(氣浮)軸承工作,形成微米級(jí)甚至亞微米的無(wú)接觸運(yùn)動(dòng)平臺(tái),常用于超高精度運(yùn)動(dòng)與定位系統(tǒng)(如光刻、檢測(cè)與精密量測(cè)等)
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