石英五軸加工

石英五軸加工

  石英五軸加工是一種針對(duì)高純石英玻璃（SiO?）的高精密制造工藝，通過五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床實(shí)現(xiàn)復(fù)雜形狀與高精度部件的加工。與傳統(tǒng)三軸加工相比，五軸加工可同時(shí)控制三個(gè)直線軸和兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，使刀具能從任意角度接觸工件，從而在一次裝夾中完成多角度切削、鉆孔、異形曲面及內(nèi)腔加工，大幅提高精度與效率。由于石英玻璃具有高硬度與高脆性，普通加工容易產(chǎn)生崩邊、微裂紋或熱應(yīng)力，五軸加工結(jié)合高速主軸、金剛石刀具和微量冷卻技術(shù)，可有效控制切削力與溫升，獲得光潔度高、形位精度優(yōu)異的制品，表面粗糙度可達(dá)Ra0.02μm，尺寸精度控制在±0.01mm以內(nèi)。該工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的石英環(huán)、石英腔體、光學(xué)透鏡座、真空夾具及微流控通道加工等領(lǐng)域，具有結(jié)構(gòu)復(fù)雜、精度要求高、熱穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。石英五軸加工不僅能提升產(chǎn)品一致性與可靠性，也體現(xiàn)了高端真空與半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)p量化、精密化與高潔凈度的極致追求。

  鈞杰陶瓷擁有多年石英玻璃精密加工經(jīng)驗(yàn)，提供定制化的石英蝕刻環(huán)解決方案，
包括：

• 高純度石英材料選型與驗(yàn)證；

• 精密CNC加工、超聲清洗與潔凈包裝；

• 支持單片試制、小批量及量產(chǎn)供貨。

  鈞杰產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備廠與晶圓代工廠，
在耐等離子體性、尺寸精度與表面潔凈度方面均獲得客戶好評(píng)。

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